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俄罗斯首台350纳米光刻机进入量产阶段


俄罗斯已开始批量生产其首款自主研制的350纳米光刻机,名为Progress STP-350,预计在2026年12月交付莫斯科的Mapper公司。尽管这一技术节点并不先进,但俄罗斯工业和贸易部计划利用此设备进行红外探测器的大规模生产。该设备由泽列诺格勒纳米技术中心与白俄罗斯Planar公司共同开发,采用固态激光器作为光源,适合200毫米晶圆的成熟技术节点,并已登记入国家工业设备注册系统。

尽管在现代逻辑器件中,350纳米技术显得不那么重要,但它在汽车电子、电力电子、微机电系统(MEMS)和红外探测器等领域依然具有关键作用。这些应用对工艺要求更看重稳定性和可靠性,而不是单纯的缩小尺寸。因此,俄罗斯工业和贸易部选择首批量产红外探测器,显示出其重心扎根于工业和国防领域,而非消费电子。

设备的注册进入国家工业设备登记册,意味着它获得了官方采购和认证的认可,未来的订单和产品更新将有制度保障。接下来,俄罗斯计划研发130纳米光刻系统,预计于2027年投入使用,以缩小与国际先进技术的差距。一旦成功研发,半导体的应用范围将显著扩大。 球友会登录

从350纳米到130纳米,虽然技术进步并不迅猛,但目标明确:首先确保成熟节点生产的顺利进行,再寻求更高的技术突破。2026年12月的首台交付和2027年130纳米的投入使用成为重要的时间节点,关键在于生产线的有效运行。